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TYG-2000/T2步進投影光刻機

簡要描述:TYG-2000/T2步進投影光刻機,照明系統(tǒng):冷光橢球鏡; 350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗); XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺; 光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2; 冷卻風扇

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-06-04
  • 訪  問  量:2008

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間面議
儀器種類微流控芯片系統(tǒng)應用領域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,電子
產(chǎn)品名稱:TYG-2000/T2步進投影光刻機
主要技術指標:
   曝光場面積:20mm×20mm
   分辨力:2μm;
   照明不均勻性:±2%
   物鏡倍率:2.5倍(縮小)
   光源:350W球形汞燈(曝光譜線: i線)
   基片尺寸:4 英寸
   工件臺運動范圍:X:>150mm、 Y:>150mm;
   工件臺運動定位精度:±0.65μm
   調(diào)焦臺運動靈敏度:1μm
   對準精度:±0.5μm
   調(diào)焦臺運動行程:5mm
   檢焦:CCD檢測,檢測精度0.5微米
   轉動臺行程:±4°以上
   基片尺寸:Ф5mm—150mmX150mm(并可適應非標準片或碎片),厚度:0.1mm--5mm
TYG-2000/T2步進投影光刻機主要技術配置:
(1)照明系統(tǒng):冷光橢球鏡;   350W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗);   XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺;   光學系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡負透鏡、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2;   冷卻風扇
(2)工件臺系統(tǒng):X臺:電機驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵(美國)   Y臺:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠(日本NSK)、導軌2(日本THK)、光柵2(美國)   轉動臺:電機及驅動器(日本樂孜),轉動軸系 調(diào)平臺:電機及驅動器(3套)、調(diào)平機構   Z臺:電機及驅動器(日本樂孜)、絲杠、上升導向機構; 承片臺:3英寸(可增加4英寸、2英寸、1英寸等)
(3)檢焦系統(tǒng):焦面光學檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件
(4)對準系統(tǒng):對準光學檢測系統(tǒng)(2套)、CCD(2套)、對準軟件
(5)電控系統(tǒng):汞燈電源及觸發(fā)器、主機控制系統(tǒng)、軟件、計算機、顯示器、接口
(6)其他部件:底座 減震器(4個);控制柜桌;氣動系統(tǒng);電磁閥、旋轉氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
(7)其他附件:真空泵一臺(無油泵);空壓機一臺(靜音泵);管道

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